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中圖儀器3d光學(xué)影像輪廓測量儀是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

中圖儀器SuperView W1非接觸三維表面輪廓測量儀器主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外還具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

從檢測效果和操作簡便上來看，w系列光學(xué)表面輪廓儀是比較有優(yōu)勢的產(chǎn)品。可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸，xy載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm（可擴(kuò)展），局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測非常微小尺寸的器件。

要想測量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況，只能用自動(dòng)拼接測量功能，但耗時(shí)較多。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測儀的自動(dòng)多區(qū)域測量功能，能在樣品表面抽取多個(gè)測量區(qū)域進(jìn)行測量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。